每小時5噸超純水設備用于清洗多晶硅，水源為自來水，進水量：9.2m3/h， 產(chǎn)水量：5m3/h，產(chǎn)水要求：≥16MΩ.cm，電導率為0.06us
二、工藝流程
三. 工藝說明
本工藝以常規(guī)制水流程為主設計，如用戶有特殊要求可另行提出。
四. 設備組成
1． 原水箱（5m3, PE）
規(guī)格：D·H=1740×2490 mm
2. 供水泵
型號：CHL8-50
數(shù)量：2臺（一用一備）
材質(zhì)：不銹鋼
功率：2.2Kw
備注：主要用于輸送自來水預處理系統(tǒng), 備用泵同時做反沖洗泵使用。
3. 多介質(zhì)過濾器
數(shù)量：1臺
材質(zhì)：玻璃鋼
控制方式：全自動控制，能夠自動清洗反沖
規(guī)格尺寸：D·H=750×1800mm
備注：主要去除自來水中的顆粒物質(zhì)它可以濾除肉眼可見的顆粒及雜質(zhì)，保證出水水質(zhì)SDI（污染指數(shù)）小于等于3
4. 活性炭吸附塔
數(shù)量：1臺
材質(zhì)：玻璃鋼
控制方式：全自動控制，能夠自動清洗反沖
規(guī)格尺寸：D·H=900×1800mm
備注：活性炭過濾器是吸附多介質(zhì)過濾器無法去除的余氯，以防止反滲透膜受其氧化降解，同時還吸附小分子等污染物質(zhì)，進一步RO進水的SDI值及濁度。
5. 軟化器(1臺, 配阿祖圖控制頭)
規(guī)格: D·H=750×1800mm
自動控制， 含再生用的鹽箱。
6. 加藥裝置(1套)
在軟化后的水中加入一定量的NaOH，使水中殘留的CO2轉(zhuǎn)化成重碳酸根，能被后續(xù)的RO脫除掉。 (835mg/min)
7. 10μ精密過濾器（1臺，UPVC體）
規(guī)格尺寸：D·H=259×1200mm
有效過濾粒徑大于10um的小顆粒，從而延長膜的使用期限。
8. 5μ精密過濾器（1臺，UPVC體）
規(guī)格尺寸：D·H=259×1200mm
作用是截留大于5um的顆粒進入反滲透，這種顆粒經(jīng)高壓泵加速后，可能擊穿反滲透膜，造成系統(tǒng)脫鹽率，同時高速顆?？蓜潅邏罕玫娜~輪。
9. RO-EDI主機
進水量：9.2 m3/h；RO產(chǎn)水量：5.5 m3/h；EDI產(chǎn)水量：5 m3/h
RO回收率：60%；運行壓力：10bar； EDI回收率90%；運行壓力0.6bar
系統(tǒng)主要配置：
1．美國陶氏膜元件：BW30HRLE-400 膜元件 4支
2．美國通用公司E-cell---MK-3的EDI模塊2塊及穩(wěn)壓電源
3．RO泵：
型號：CDL8-18泵（運行流量10m3/h，揚程146米，功率：7.5KW）數(shù)量：1臺
4．EDI供水泵：
型號：CHL8-40
功率：1.5KW
數(shù)量：1臺
5．保安過濾器
規(guī)格尺寸：D·H=259×700mm
6．電導率儀和純水電阻率儀（各1塊）
7．日本進口-歐姆龍PLC控制
8．系統(tǒng)采用不銹鋼機架和不銹鋼電控箱，主要管路U-PVC材料。
9．面板流程顯示
系統(tǒng)性能介紹：
1.）RO具有高低壓保護控制，保護了膜組件。
2.）中間水箱配有高低液位控制開關，液位下降到警戒水位，RO自動開啟；液位上升到警戒水位，RO自動停機。
3.） RO停機后，可用產(chǎn)品水進行自動清洗?？蛇M行藥液循環(huán)清洗。
4.）進入EDI系統(tǒng)的水能夠?qū)崿F(xiàn)：達到進水要求允許EDI啟動開機制水；進水超標將自動排放。
5.）EDI系統(tǒng)產(chǎn)水如超標，系統(tǒng)將自動予以排放，直到滿足產(chǎn)水滿足要求，方自動送入純水箱。
10. 中間水箱(5m3)
材質(zhì)：PE
規(guī)格：D·H＝1740×2490mm
11． 拋光混床
材質(zhì)：玻璃鋼
規(guī)格尺寸：D·H=450×1800mm
采用精拋樹脂，保證產(chǎn)水達到16MΩ.cm 接近18MΩ.cm
12． 氮封純水箱（5m3）
規(guī)格：D·H＝1740×2490 mm
材質(zhì)：PE
配置氮封裝置，需要配合氮氣罐。
13． 連接管道
系統(tǒng)間連接，EDI后采用優(yōu)質(zhì)U-PVC管道材料
五. 設備清單及報價
| 編號 | 設備名稱 | 規(guī)格 | 數(shù)量 | 備注 |
| 1 | 原水箱 | PT-5000 | 1臺 | 5 m3（ PE） |
| 2 | 供水泵 | CHL8-50 | 2臺 |
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| 3 | 多介質(zhì)過濾器 | D·H=750×1800mm | 1臺 | 配阿祖圖控制頭 |
| 4 | 活性炭吸附塔 | D·H=900×1800mm | 1臺 | 配阿祖圖控制頭 |
| 5 | 軟化器 | D·H=750×1800mm | 1臺 | 配阿祖圖控制頭 |
| 6 | 加藥裝置 | P066 | 1套 | 1套 |
| 7 | 10μ精密過濾器 | D·H=259×1200mm | 1臺 | UPVC體 |
| 8 | 5μ精密過濾器 | D·H=259×1200mm | 1臺 | UPVC體 |
| 9 | RO-EDI主機 | L·W·H=2500×1200×1800mm | 1套
| 美國進口陶氏膜（二組4只），E-cell模塊（2塊），系統(tǒng)高低壓控制開關，全自動控制。 |
| 10 | 中間水箱 | PT-5000 | 1臺 | 5 m3（ PE） |
| 11 | 拋光混床 | D·H=450×1800mm | 1臺 |
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| 12 | 純水箱 | PT-5000 | 1臺 | 5m3（ PE）配氮封裝置 |
| 13 | 連接管道 | DN40 | 1批 | 系統(tǒng)間連接，EDI后采用U-PVC+管道材料 |
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| 設備價格合計 | 105000.00 | ||
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