LMPLN-IR/LCPLN-IR紅外線觀察用
適用于晶圓內(nèi)部觀察等近紅外領(lǐng)域觀察的特殊鏡頭
LCPLN-IR可利用校正環(huán)補(bǔ)正硅質(zhì)厚度或玻璃厚度
產(chǎn)品參數(shù):
| 物鏡 | 倍率 | N.A(開口數(shù)) | W.D.(焦點(diǎn)距離)(mm) | 蓋玻璃厚度(mm) | 硅厚度(mm) | 解析度(μm) |
| LMPLN-IR | 5X | 0.10 | 23 | - | 6.71 | |
| 10X | 0.3 | 18 | - | 2.24 | ||
| LCPLN-IR | 20X | 0.45 | 8.3 | 0-1.2 | 0-1.2 | 1.49 |
| 50X | 0.65 | 4.5 | 0-1.2 | 0-1.2 | 1.03 | |
| 100X | 0.85 | 1.2 | 0-0.7 | 0-1.0 | 0.79 |
LMPLN-IR-5X:


LMPLN-IR-10X:


LMPLN-IR-20X:


LMPLN-IR-50X:


LMPLN-IR-100X:







